高壓質(zhì)量流量控制器精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)?？扇我馕恢冒惭b，配合流量顯示儀或其他流量控制器顯示儀使用，也可直接同計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)RS-232連接，非常方便的實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空電子、太陽(yáng)能、光伏、制氣、醫(yī)療、航空航天、生物技術(shù)、分析儀器等領(lǐng)域。
質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么？
(1)流量的測(cè)量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)。
對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì)，壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差；對(duì)于質(zhì)量流量控制器則一般可以忽略不計(jì)。
(2)測(cè)量控制的自動(dòng)化
高壓質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言，質(zhì)量流量控制器還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常，模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0~+5V或4~20mA，數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口，質(zhì)量流量控制器能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接，進(jìn)行自動(dòng)控制。
(3)地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制﹑對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。
(4)適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍，我們的質(zhì)量流量控制器可以從真空直到10MPa;可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的質(zhì)量流量控制器小流量范圍可達(dá)0～5sccm，大流量范圍可達(dá)0～200slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿(mǎn)量程的0.1%，流量控制范圍是滿(mǎn)量程的2~100%(量程比為--50:1)，因此高壓質(zhì)量流量控制器在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
