alicat氣體質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量傳感器、熱式原件、質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大電路組成，它利用流動(dòng)的流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成。
alicat氣體質(zhì)量流量控制器是采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
接通電源后，先預(yù)熱15分鐘，再通氣工作，以保證測(cè)量的準(zhǔn)確度。氣體質(zhì)量流量控制器切忌液體和油污，不能使用在液體介質(zhì)中工作，只能使用在氣體工作介質(zhì)中。
且氣體要是潔凈、干燥的，沒有微粒和潮氣。否則，須在氣路中加裝過濾器、干燥器等，使之符合要求。要注意保持控制器的氣路潔凈，一旦被污染，將嚴(yán)重影響產(chǎn)品的準(zhǔn)確度。
氣體質(zhì)量流量控制器準(zhǔn)確可靠的測(cè)量和控制氣體質(zhì)量流量，測(cè)量和控制精度高、零飄小，測(cè)量和控制范圍寬，測(cè)量和控制的準(zhǔn)確度不受環(huán)境溫度和外界壓力的影響，廣泛的應(yīng)用于真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)化工實(shí)驗(yàn)設(shè)備、分析儀器、冶金材料工程、能源動(dòng)力等各領(lǐng)域。
控制器的泄露率可以做到1×10－8Pa.m3／s，并且氣體質(zhì)量流量控制器的密封材質(zhì)選用進(jìn)口材質(zhì)氟橡膠，耐腐蝕抗氧化。所以對(duì)于氣體質(zhì)量流量控制器在甲烷氣體使用上面*符合要求，并且得到客戶較高的使用反饋。
