流量控制器是準確測量氣體流量的儀器。由于溫度或壓力的波動，測量值不會錯位。不需要溫度和壓力補償。即使系統(tǒng)壓力波動或環(huán)境溫度發(fā)生變化，也可以根據(jù)需要進行流量設(shè)定，自動將流量恒定在設(shè)定值。它不會導致它偏離設(shè)定值。
流量控制器可以準確控制給定量的氣體，用于不同氣體的比例控制，用于許多過程的流量控制。直接測量氣體的質(zhì)量流量，輸出質(zhì)量流量信號，無需其他設(shè)備。
質(zhì)量流量控制器用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。
質(zhì)量流量計是一種準確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。熱式流量開關(guān)熱導式流量開關(guān)。質(zhì)量流量控制器（MFC）中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程，在工作的過程當中，控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降，即壓差。
檢查出現(xiàn)偏差方法：
1、零點是否有漂移，首先需接通電源，質(zhì)量流量控制器信號為0的情況下，則需要用萬網(wǎng)表測一下輸出信號值以及看一下電源控制器的反饋信號；
2、氣體是否純凈，如果盤路有污染，那么流量就肯定會收到影響，這個時候可以用高純N2多次清掃，如果還是不能解決則需要找專業(yè)維修點接受A／S；
3、質(zhì)量流量控制器前端壓力是否發(fā)到標定壓力，如果質(zhì)量流量控制器的壓力不夠就會出現(xiàn)達不到標定量程。
